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高純度三氯硅烷
 
 一般名稱  三氯硅烷、TCS
 本公司商品名  高純度三氯硅烷
 主要用途  太陽能電池用多晶硅的原料
 產品形態  ISO罐式集裝箱
 化學式  SiHCl3
 特性  高純度
 
概要
過蒸餾氣相二氧化硅原料來生產高純三氯氫硅。
用途
太陽能電池用多晶硅的原料
特征
?是常溫下無色透明并具有刺激氣味的液體。密封狀態下性質穩定。
?與空氣中的水分發生反應,會產生具有腐食性的氯化氫氣體,并生成二氧化硅。
?具有可燃性,在空氣中容易起火。
氣相二氧化硅
高純度四氯化硅
高純度三氯硅烷
鹽酸

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